表面 3D 輪廓量測儀
VR 系列
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一拍即得3D量測數位顯微鏡 頭 VR-3100
產品規格
型號 | VR-3100 | |||
類型 | 量測頭 | |||
適用控制器 | VR-3000K | |||
觀察量測範圍 | 大视野模式 | 15 型螢幕上顯示倍率 12x | 水平(H) | 24mm |
垂直(V) | 18mm | |||
15 型螢幕上顯示倍率 25x | 水平(H) | 12mm | ||
垂直(V) | 9mm | |||
15 型螢幕上顯示倍率 38x | 水平(H) | 8mm | ||
垂直(V) | 6mm | |||
15 型螢幕上顯示倍率 50x | 水平(H) | |||
垂直(V) | 4.5mm | |||
高倍率模式 | 15 型螢幕上顯示倍率 40x | 水平(H) | 7.6mm | |
垂直(V) | 5.7mm | |||
15 型螢幕上顯示倍率 80x | 水平(H) | 3.8mm | ||
垂直(V) | 2.9mm | |||
15 型螢幕上顯示倍率 120x | 水平(H) | 2.5mm | ||
垂直(V) | 1.9mm | |||
15 型螢幕上顯示倍率 160x | 水平(H) | |||
垂直(V) | 1.4mm | |||
鏡頭 | 1 至 4 倍 | |||
可量測高度 | 大視野模式：10mm(±5mm) 高倍率模式：1mm(±0.5mm)*1 | |||
顯示解析度 | 0.1 µm*2 | |||
重覆精度 (σ) | 高度量測 | 0.5 µm*3 | ||
寬度量測 | 大視野模式：1 µm、高倍率模式：0.5 µm*3 | |||
量測精度 | 高度量測 | ±3 µm*3 | ||
寬度量測 | 大視野模式：±5 µm、高倍率模式：±2 µm*3 | |||
影像連接功能 | 手動(XY、Z)*4 | |||
載物台 | XY 載物台移動量 | 70 mm(200 mm*5)(手動)*6 | ||
Z 載物台移動量 | 90 mm(電動) | |||
旋轉角 | ±90°（θ 載物台） | |||
傾斜角 | ±30° 以上 | |||
動作距離 | 75 mm | |||
影像擷取元件 | 1 型400 萬畫素黑白CMOS | |||
投光鏡頭 | 雙重遠心鏡頭 ×2 | |||
受光鏡頭 | 雙重遠心鏡頭 | |||
照明系統 | 觀察用光源 | 環形 LED 照明(紅、綠、藍) | ||
量測用光源 | 白光 LED | |||
影像尺寸 | 1024×768 畫素、2048×1536 畫素 | |||
資料處理部份 | KEYENCE 指定專用PC(OS 為 Windows7)*7 | |||
額定 | 電源電壓 | 100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz | ||
耗電量 | 150 VA | |||
環境抗耐性 | 環境溫度 | +15 至 +30 °C | ||
相對濕度 | 35 至 80 % RH (無凝結) | |||
重量 | 22.5 kg | |||
*1 以焦點位置為中心，低倍率端 ±5 mm，高倍率端側 ±0.5 mm 的範圍 | ||||