表面3D 輪廓量測儀 量測頭 VR-5200

型號

VR-5200

類型

量測頭

照明系統

觀察用光源

LED 環狀照明 ( 紅、藍、綠 )

量測用光源

白色 LED

控制器

VR-5000

觀察視野

低倍(大視野)

15 吋螢幕上顯示倍率12×

水平

24.0 mm

垂直

18.0 mm

15 吋螢幕上顯示倍率25×

水平

12.0 mm

垂直

9.0 mm

15 吋螢幕上顯示倍率38×

水平

8.0 mm

垂直

6.0 mm

15 吋螢幕上顯示倍率50×

水平

垂直

4.5 mm

高倍(高解析度)

15 吋螢幕上顯示倍率40×

水平

7.6 mm

垂直

5.7 mm

15 吋螢幕上顯示倍率80×

水平

3.8 mm

垂直

2.9 mm

15 吋螢幕上顯示倍率120×

水平

2.5 mm

垂直

1.9 mm

15 吋螢幕上顯示倍率160×

水平

垂直

1.4 mm

縮放

1 至 4 倍

高度量測

顯示解析度

0.1 µm

高度量測範圍

無Z 連接

低倍 ( 大視野 ) ： 10 mm
高倍 ( 高解析度 ) ： 1 mm

有Z 連接

低倍 ( 大視野 ) ： 50 mm
高倍 ( 高解析度 ) ： 30 mm

重複精度σ

無Z 連接

0.4 µm^*1

有Z 連接

1.0 µm^*1

精準度

無Z 連接

±2.5 µm^*1

有Z 連接

±4.0 µm^*1

寬度量測

重複精度σ

低倍 ( 大視野 ) ： 1 µm
高倍 ( 高解析度 ) ： 0.5 µm
^*1

準確性

低倍 ( 大視野 ) ： ± 5 µm
高倍 ( 高解析度 ) ： ± 2 µm
^*1

影像連接功能

全自動量測(XY 自動控制 + Z 自動控制)、自動建立 MAP 影像、自動區域設定^*2

XY 可量測範圍

206 × 104 mm^*2

載物台

XY 載物台移動量

184 × 88 mm ( 電動 )

Z 載物台移動量

73 mm ( 電動 )

耐受重量

4.5 kg

動作距離

75 mm

拍攝元件

1 吋 400 萬畫素黑白 CMOS

投光鏡頭

雙遠心鏡頭 × 2

受光鏡頭

雙遠心鏡頭

資料處理部份

KEYENCE 指定專用 PC (OS 為 Windows 10 Pro)

電源

電源電壓

100 至 240 VAC 50/60 Hz

功率消耗

200 VA 以下

環境抗耐性

環境溫度

+15 至 30 ℃

相對濕度

20 至 80 % RH ( 無凝結 )

重量

約 28 kg^*3