3D 干涉式位移感測器
WI-5000 系列
感測頭 標準型 WI-004
產品規格
型號 | WI-004*1*2*3 | |||
參考距離 | 18 mm | |||
量測範圍 | Z | 1.4 mm(標準模式),0.7 mm(高速模式) | ||
XY | 4 × 4 mm | |||
最小檢測區域 | 15 × 15 µm | |||
重複精度(段差) | 0.1 µm*4 | |||
直線性(段差) | ±2.8 µm(±0.2% of F.S.,F.S.=1.4 mm、+20 至+30℃)*5 | |||
量測用光源 | 類型 | 紅外SLD | ||
中心波長 | 830 nm | |||
雷射分類(IEC60825-1) | 等級 3R | |||
輸出 | 3.6 mW | |||
引導用光源 | 類型 | 紅光半導體雷射 | ||
波長 | 660 nm | |||
雷射分類(IEC60825-1) | 第1 類 | |||
輸出 | 0.15 mW | |||
取樣週期 | 內部觸發 | 133 ms(高速模式),266 ms(標準模式) | ||
外部觸發 | 最快 266 ms(高速模式),最快 532 ms(標準模式)*6 | |||
環境抗耐性 | 環境光照 | 白熾燈/螢光燈: 5,000 lux 以下 | ||
環境溫度 | 0 至 +35 °C | |||
相對濕度 | 20 至 85 % RH (無凝結) | |||
重量 | 約 3,000 g | |||
*1 FDA (CDRH) 的雷射分類是基於 IEC60825-1 並根據 Laser Notice 的要求而實施的。高度(從感測頭基準面到量測工件的距離)的解析度為 1 µm(*2)。 |