形狀分析雷射顯微鏡
VK-X 系列
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電動XY載物台 VK-S105
產品規格
型號 | VK-S105 | |||
移動方向 | X/Y軸 | |||
衝程 | 50 x 50 mm | |||
載物台尺寸 | 100 x 100 mm | |||
導引方法 | 交叉輪導軌 | |||
進給方法 | 精密滾珠絲杠、引線1 mm | |||
軸轉換慣性 | X軸 9.29×10-7kg・m2、Y軸 9.62×10-7kg・m2 | |||
馬達 | 0.35A/相、5相步進馬達5線五角接線、持有扭矩:0.017N・m、旋轉慣性:4.2g・cm2 | |||
解析度 | 1 µm | |||
定位精度 | 10 µm | |||
重覆定位精度 | ±1 µm | |||
彈回 | 1 µm | |||
空轉 | 3 µm | |||
直觀性 (垂直/水平) | 5 µm | |||
平行性A | X:10 µm、Y:10 µm | |||
XY直角度 | 10 µm | |||
耐加重 | 3 kg | |||
主材料/概觀 | 鋁合金/黑色陽極處理 | |||
重量 | 2.5 kg |