形狀分析雷射顯微鏡
VK-X 系列
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形狀量測雷射顯微鏡 VK-X105
產品規格
型號 | VK-X105 | |||
類型 | 顯微鏡 | |||
物鏡的倍率 | 15" 顯示器的倍率 100 倍 | 5倍 | ||
15" 顯示器的倍率 200 倍 | 10倍 | |||
15" 顯示器的倍率 400 倍 | 20倍 | |||
15" 顯示器的倍率 1000 倍 | 50倍 | |||
觀察/ 量測範圍 | 水平 (H): μm | 15" 顯示器的倍率 100 倍 | 2700 | |
15" 顯示器的倍率 200 倍 | 1350 | |||
15" 顯示器的倍率 400 倍 | 675 | |||
15" 顯示器的倍率 1000 倍 | 270 | |||
垂直 (V): μm | 15" 顯示器的倍率 100 倍 | 2025 | ||
15" 顯示器的倍率 200 倍 | 1012 | |||
15" 顯示器的倍率 400 倍 | 506 | |||
15" 顯示器的倍率 1000 倍 | 202 | |||
工作距離: mm | 15" 顯示器的倍率 100 倍 | 22.5 | ||
15" 顯示器的倍率 200 倍 | 16.5 | |||
15" 顯示器的倍率 400 倍 | 3.1 | |||
15" 顯示器的倍率 1000 倍 | 0.54 | |||
數值孔徑 (N.A) | 15" 顯示器的倍率 100 倍 | 0.13 | ||
15" 顯示器的倍率 200 倍 | 0.3 | |||
15" 顯示器的倍率 400 倍 | 0.46 | |||
15" 顯示器的倍率 1000 倍 | 0.8 | |||
光學變焦 | 1 至 8 倍 | |||
綜合倍率 | 100 至 8000x | |||
觀察/ 量測用光學系統 | 針孔共焦光學系統 | |||
高度量測 | 量測範圍 | 7 mm | ||
顯示解析度 | 0.005 µm | |||
重複精度 σ | 0.02 µm*1 | |||
寬度量測 | 顯示解析度 | 0.01 µm | ||
重複精度 3σ | 0.05 µm*2 | |||
畫面格速率 | 像素計數 | 2048 x 1536, 1024 x 768, 1024 x 64 | ||
對於黑白影像 | 16 位元 | |||
對於彩色影像 | RGB 各 8 位元 | |||
對於高度量測 | 21 位元 | |||
掃描頻率 | 面掃描 | 4 至 120 Hz | ||
線掃描 | 7900 Hz | |||
自動功能 | AAG (自動增益)、自動對焦, 自動設定上下限, 雙掃描的光度設定 | |||
用於量測的 | 波長 | 紅色半導體雷射, 658 nm | ||
量測用雷射光源 | 最大輸出 | 0.95 mW | ||
雷射分類 | 第 2 類雷射產品 (IEC 60825-1,FDA (CDRH) Part1040.10) *3 | |||
受光元件 | PMT (光電倍增管) | |||
用於光學觀察的光源 | 燈 | 100 W 鹵素燈 | ||
用於光學觀察的 | 攝像裝置 | 1/3 英呎彩色CCD 圖像傳感器 | ||
拍攝解析度 | 超高精細 (3072 x 2304) | |||
自動調整 | 增益、快門速度 | |||
資料處理裝置 | 由 KEYENCE 隨 VK-X 一起提供的專用 PC (OS: Windows 7 Professional Edition) *4 | |||
軟體部 | 自動對焦軟體 | 觀察時自動對焦的軟體 | ||
像素位移軟體 | 在拍攝圖像之際，位移像素後進行拍攝，一次提高拍攝像素的軟體 | |||
HDR功能軟體 | 以16bit獲取資料，並對圖像的顯示實施最優化的軟體 | |||
RPD功能軟體 | 快速、正確檢測量測結果的運算法 | |||
AAG功能軟體 | 自動調整設定範圍內雷射靈敏度的軟體 | |||
自動上下限設定軟體 | 自动辨識目標物的上限與下限後，設定量測範圍的軟體 | |||
簡單模式功能軟體 | 可以流程圖表方式簡單量測的軟體 | |||
註釋功能軟體 | 在觀察螢幕上顯示註釋的軟體 | |||
量測/刻度顯示軟體 | 在尺寸量測或觀察螢幕上顯示刻度的軟體 | |||
額定 | 電源電壓 | 100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz | ||
耗電量 | 最大 450 VA | |||
重量 | 約 25 kg (分離時探頭單體：約 8.5 kg) | |||
*1 使用 50 倍 物鏡測量標準高度差為 2 µm 時。 | ||||