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針對目標物的段差、厚度、共面性、3D形狀、平坦度、內/外徑、對位、尺寸等檢測項目,
也須考慮所需精度及使用環境選擇最適合的量測儀器。
為了提供符合不同檢測目的,KEYENCE擁有豐富的產品陣容。
分劃版的定位
晶圓的傾斜檢測
探測器的間距控制
晶圓厚度量測