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    透明/鏡面/薄膜 超高精度穩定量測
    微型光譜干涉雷射位移計

    • 解析度 0.01 μm
    • 世界最小, ø2mm微型感測頭
    • 高速移動產線也能精準測量
    • 擅長透明體、厚度5μm以上、翹曲、平整度

KEYENCE 線上量測儀器產品陣容

針對目標物的段差、厚度、共面性、3D形狀、平坦度、內/外徑、對位、尺寸等檢測項目,

也須考慮所需精度使用環境選擇最適合的量測儀器。

為了提供符合不同檢測目的,KEYENCE擁有豐富的產品陣容。

  • 分劃版的定位

  • 晶圓的傾斜檢測

  • 探測器的間距控制

  • 晶圓厚度量測