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1秒完成3D輪廓量測內建平整度、翹曲、尺寸、角度、半徑、高低段差等各種3D量測與分析功能,新搭載旋轉裝置,側面/背面都可完整3D量測
解析度0.1μm,免定位/原點復歸超大200 x 100 mm量測範圍,光澤面也OK
橫跨nm、µm、mm等級量測全新三重掃描技術,融合Focus Variation、雷射共軛焦、白光干涉掃描原理,低倍率也細緻呈現表面起伏
解析度0.01nm,透明/鏡面體也OK表面微結構、線/面粗糙度量測,
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