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高精度的「瞬間3D」量測

3D 位移計誕生

3D 干涉式位移感測器 WI-5000 系列

  1. 1 非點、非線，而是以「面」量測

    針對最大 10 × 10 mm 的量測區域，瞬間取得 8 萬點的高度。
    採用白光干涉原理，不受材質、顏色的影響，也不受死角影響，實現了微米級的高精度量測。

    1. 使目標物停止於感測頭正下方。
      (最短停止時間為 0.12 秒)

    2. 照光並取得 8 萬點的高度資料。

    3. 高度/段差/寬度/體積 …etc

      針對已取得的高度資料，量測各種尺寸。

    量測完成僅需 0.13 秒

  2. 2 於線上實現高速全數檢查

    量測多點時，必須高精度且高速地掃描目標物。 因此往往會將時間耗費在移動載物台上，難以執行全數檢查。
    然而 WI-5000 系列以面執行同時量測，所以能夠大幅縮短量測時間，實現全數檢查。

    1. 傳統 1D 位移計 + 驅動載物台

      檢查時間 (放入工件, 量測A點, 移動, 量測B點, 移動, 量測C點, 移動, ..., 算出量測結果)

    2. WI-5000 系列 不需驅動載物台

      檢查時間 (放入工件時即瞬間量測) / 量測時間大幅縮短

  3. 3 大幅減少離線檢查工時

    為了在離線檢查使用，準備了固定感測頭的專用支架。 還搭載了可減少檢查工時的各種實用功能。
    改善從簡易量測到資料儲存等各種場合的操作性。

    1. 傳統 使用工具顯微鏡執行檢查

      檢查時間 (設置工件, 調整焦距, 設置零點, 滑動載物台, 調整焦距, 讀取量測值)

    2. WI-5000 系列 專用支架

      檢查時間 (設置工件時即瞬間量測) / 檢查工時大幅縮短

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