不接觸檢查目標物頂部位置。 因為高速取樣,即使物體高速移動也可以量測。
超高速/ 高精度 CMOS 雷射位移感測器
LK-G5000 系列
不接觸檢查目標物頂部。 採用同軸量測,即使量測點位於死角也沒問題。
彩色共焦雷射位移計
CL-3000 系列
使用藍光雷射,在受光元件上形成尖銳的波形。 由於每條輪廓線上有3200個點,所以在寬度方向上也可以高精度量測。
超高精細線上輪廓感測器
LJ-X8000 系列
用圓柱形的平行光照射,經由投影進行尺寸量測。可量測外徑、段差、長度等各種尺寸。
2D 高速測微計
TM-3000 系列
經由接觸目標物,可不受油污影響穩定量測。
高精度接觸式數位感測器
GT2 系列
同時檢查連接器端子的位置與突出量。以往方式是將圖像處理檢測和接觸式感測器的量測分兩次進行,但 LJ-X8000 系列可同時進行檢查。減少儀器數量來降低成本。
量測功率模組端子的平面度。以面來捕捉目標物,可對以最小二乘法所計算出之基準平面,來量測平面度。消除了因設置目標物時傾斜帶來的誤差,可做到正確量測。
檢查接合後元件的傾斜。CL-3000 系列採取了可進行同軸量測的彩色共焦方式。無論目標物為鏡面、粗糙面,都可用同樣的安裝方法進行量測,達到簡單又高精度的檢查。
量測焊接部位加上粉狀塗層後的高度。 LJ-X8000系列可實現超高速3D檢測,實現100%線上檢查。