選擇測量儀時用到的術語解說

安裝狀態/安裝模式 三角測距時

使用雷射位移計量測目標物時，需要用接收器接收來自目標物的反射光。三角測距方式的測量儀中，會依據目標物的表面狀態傾斜安裝感測頭，以確保能夠適當接收反射光。

參考距離

使用雷射位移計量測目標物時量測值為0的點。
一般是指自感測頭的底面至量測範圍中心的距離。

量測範圍

表示雷射位移計可量測的目標物位移量的範圍。
一般標示為以參考距離為基準±○○mm。

【標示範例】

參考距離：30 mm

量測範圍：±5 mm

上述的雷射位移計可在圖示的範圍內量測目標物。

光源

使用光的非接觸式測量儀利用的原理是，從發射器向目標物照射光，並使用接收器接收目標物的反射光。其中使用的光源多種多樣，例如紅色半導體雷射、藍色半導體雷射、白色光、SLD以及綠色LED等。
使用何種光源由測量儀的原理決定，使用符合光源的鏡頭和受光元件等，可以實現高精度的量測。

光點直徑

非接觸式測量儀一般有2種光點直徑。即橢圓形和小光點型。
橢圓形量測橢圓內的平均高度，因此不易受到目標物表面粗糙度誤差的影響。但是光點尺寸大，因此不適合形狀量測以及較小部位的量測。
另一方面，小光點型的光點小，因此可在形狀量測和細小部位的量測方面發揮作用，但同時會追蹤表面粗糙度，因此相較於橢圓形，容易受到表面粗糙度誤差的影響。

重複精度

表示重複量測目標物指定點時的偏差。

直線性

直線性是體現測量儀性能的指標。表示理想值與實際量測結果之間的誤差的最大值。例如，使用直線性±5 μm的測量儀，將目標物移動1 mm時，就代表其顯示的數值中可能包含±5 μm的誤差(0.995 mm~1.005 mm)。
直線性的規格定義為±○○％ of F.S. ，F.S.代表量測範圍，如以下範例所示進行計算。可以說直線性越小的儀器越是優良。

例）如果測量儀的直線性：0.02% of F.S.，量測範圍±3 mm（F.S.= 6 mm）
則[直線性] = 0.02％ × 6 mm = ±1.2 μm

溫度特性

溫度特性表示感測頭的溫度每變化1度時產生的量測值誤差的最大值。感測頭的內部有鏡頭、CMOS以及用於固定這些的治具。溫度變化時，這些部件會膨脹、收縮，CMOS上成像的光點位置發生變化，從而導致誤差。
溫度特性定義為○○％ of F.S./℃，F.S.代表量測範圍，如以下範例所示進行計算。可以說溫度特性越小的儀器越是優良。

例）如果測量儀的溫度特性：0.01% of F.S./℃，量測範圍±3 mm（F.S.= 6 mm）
則[溫度特性] = 0.01％/℃ × 6 mm = 0.6 μm/℃

環境光照

表示測量儀可以在不受外部光的影響下量測的外部光源最大光照度。

工作環境溫度

保證測量儀的工作的溫度環境。

工作環境濕度

保證測量儀的工作的濕度環境。

耐振動性

表示振動對測量儀的影響的指標。表示按照記述的數值實施了評估。
一般記述格式為「10至55 Hz　雙倍振幅1.5 mm　X、Y、Z各方向2小時」，具體而言，按照以下內容實施測試。
在X方向上以10至55 Hz的頻率在2小時內變化±0.75 mm的振幅
　　⇓
在Y方向上以10至55 Hz的頻率在2小時內變化±0.75 mm的振幅
　　⇓
在Z方向上以10至55 Hz的頻率在2小時內變化±0.75 mm的振幅

取樣週期/取樣速度

表示測量儀在1秒內可量測的資料點數。取樣週期為100 Hz的測量儀，在1秒內實施100次量測。測量儀的取樣週期越短越能夠在線上正確量測移動的目標物，並且可以大量執行單一時間內的平均化處理，因此量測值能夠穩定。

受光波形

受光波形是體現受光元件接收的光的狀態的波形。縱軸代表光的強度，橫軸代表受光元件上的位置。透過確認受光波形的形狀，可以判斷當前的量測是否正確執行。

(1)理想的受光波形

能夠穩定量測的受光波形。

(2)受光波形高度低時

未能獲得足夠的反射，因此無法量測。

(3)受光波形高度過高時

飽和狀態。這時量測值的偏差將變大。

(4)受光波形的形狀左右不對稱時

量測樹脂等時，雷射光投入目標物內，受光波形將會左右不對稱。
這時的量測值根據真實值，依投入量進行相應的轉換。

(5)多條受光波形時

量測玻璃等透明的目標物時，會出現1條以上的峰值。量測玻璃時，可獲得表面的反射峰值和背面的反射峰值2條峰值曲線。

光軸、光軸區域

自測量儀發射器照射出的光的中心軸稱為光軸。
光軸區域圖是體現光從發射器到接收器的路徑的圖。若是治具等進入該區域，則光將無法到達目標物或接收器，導致無法量測。

電源電壓

驅動商品所需的電源的電壓。如果規格為24 VDC±10％，則代表需要電壓為24 V且變動量控制在±2.4 V以內的直流電源。

最大消耗電流

驅動商品時消耗的電流量。使用的電源必須選擇容量大於該最大消耗電流的商品。