表面3D 輪廓量測儀 量測頭 (高階機種) VR-6200

型號

VR-6200

類型

量測頭

作業系統

Windows 10 Professional / Windows 11 Professional

控制器

VR-6000

觀察視野

低倍（大視野）

15 吋螢幕上顯示倍率 12×

水平

24.0 mm

垂直

18.0 mm

15 吋螢幕上顯示倍率 25×

水平

12.0 mm

垂直

9.0 mm

15 吋螢幕上顯示倍率 38×

水平

8.0 mm

垂直

6.0 mm

15 吋螢幕上顯示倍率 50×

水平

垂直

4.5 mm

高倍（高解析度）

15 吋螢幕上顯示倍率 40×

水平

7.6 mm

垂直

5.7 mm

15 吋螢幕上顯示倍率 80×

水平

3.8 mm

垂直

2.9 mm

15 吋螢幕上顯示倍率 120×

水平

2.5 mm

垂直

1.9 mm

15 吋螢幕上顯示倍率 160×

水平

垂直

1.4 mm

縮放

1 至 4 倍

高度量測

顯示解析度

0.1 μm

高度量測範圍

無Z 連接

低倍（大視野）: 10 mm
高倍（高解析度）: 1 mm

有Z 連接

低倍（大視野）: 50 mm
高倍（高解析度）: 30 mm

重複精度σ

無Z 連接

0.4 μm ^*1

有Z 連接

1.0 μm ^*1

精準度

無Z 連接

±2.5 μm ^*1

有Z 連接

±4.0 μm ^*1

寬度量測

重複精度σ

低倍（大視野）: 1 μm
高倍（高解析度）: 0.5 μm
^*1

精準度

低倍（大視野）: ±5 μm
高倍（高解析度）: ±2 μm
^*1

影像連接功能

全自動量測（XY 自動控制+ Z 自動控制、θ 自動控制）、自動建立MAP 影像、自動區域設定
^*2

影像連接功能

電動旋轉裝置

支援
^*2

XY 可量測範圍

300 × 150 mm
^*2

載物台

XY 載物台移動量

278 × 134 mm（電動）

Z 載物台移動量

69 mm（電動）

耐受重量

4.5 kg

動作距離

75 mm

拍攝元件

1 吋 400 萬畫素 黑白CMOS

投光鏡頭

雙遠心鏡頭× 2

受光鏡頭

雙遠心鏡頭

照明系統

觀察用光源

LED 環狀照明（紅、藍、綠）

量測用光源

白色LED

資料處理部

KEYENCE指定專用 PC

電源

電源電壓

AC100 ～ 240 V ±10％ 50/60 Hz

功率消耗

200 VA 以下

環境抗耐性

環境溫度

＋ 15 ～ 30℃

相對濕度

20 至80%RH（無凝結）

重量

約28 kg ^*3