全方位自動影像尺寸量測儀 LM-X 系列

以直覺式操作實現 ±0.1 µm 的高精度量測

「任意擺、按一下」的影像尺寸測量儀更進化了。

LM-X 系列 - 全方位自動影像尺寸量測儀

只需將目標物置於載物台上並按下按鈕的簡單操作，即可實現±0.1 µm的高精度量測。配備3種量測方式，即高精度影像量測、利用彩色雷射的非接觸式高度量測、利用三次元接觸式探測器的接觸量測。大幅縮短複雜的量測目標物的尺寸量測時間，實現不含有量測者誤差的正確量測。

可記憶目標物形狀，自動檢測置於載物台上的位置與方向後進行量測。不需以往繁瑣的事先定位、建立座標以及準備固定治具。

無論是XY 方向還是Z 方向都能高精度量測。

由於可量測多個置於載物台上的目標物，量測數量多時亦可在短時間內完成量測。完全不需要定位及治具。

大型載物台的最大量測尺寸為 175 × 325 mm，高度為75 mm。採用了將馬達與進給螺桿摩擦力減至最低的新設計，不須固定目標物，便可進行高速且穩定的量測。