全方位自動影像尺寸量測儀
LM-X 系列
量測頭 搭載彩色雷射/ 接觸式探測器的機型 LM-X100TL
產品規格
型號 | LM-X100TL | |||
類型 | 量測頭 | |||
拍攝元件 | 1 吋 2000 萬畫素 黑白CMOS | |||
受光鏡頭 | 雙遠心鏡頭 | |||
影像量測 | 視野 | 大視野量測模式 | 325 mm × 175 mm | |
高精度量測模式 | 306 mm × 156 mm | |||
最小顯示單位 | 0.1 μm | |||
重複精度 | 視野內 (2σ) | 大視野量測模式 | ±0.5 μm | |
高精度量測模式 | ±0.1 μm | |||
移動載物台 | X、Y 軸 | ±0.9 μm | ||
XY 平面 | ||||
量測精度 | 視野內 (2σ) | 大視野量測模式 | ±2 μm *1 | |
高精度量測模式 | ±0.7 μm *2 | |||
移動載物台 | X、Y 軸 (EUX,MPE , EUY,MPE) | ±（1.8 + 0.02 L） μm *3 | ||
XY 平面( EUXY,MPE) | ±（2.8 + 0.02 L）μm *3 | |||
AF 高度量測 | 重複精度 | ±2 μm | ||
量測精度（EUZ,MPE） | ±（4.8 + 0.04 L）μm *4 | |||
雷射高度量測 | 可量測範圍（XY） | 239 mm × 146 mm | ||
最小顯示單位 | 0.1 μm | |||
重複精度 | ±0.6 μm *5 | |||
量測精度（EUZ,MPE） | ±（4.8 + 0.04 L）μm *4 | |||
光點直徑 | ø50 μm | |||
雷射分類 | Class 1 | |||
接觸式探測器量測 | 可量測範圍（XY） | 248 mm × 141 mm | ||
應力 | 0.015 N *6 | |||
最小顯示單位 | 0.1 μm | |||
重複精度 | X、Y 軸 | ±1.4 μm | ||
XY 平面 | ||||
Z 軸 | ||||
量測精度 | X、Y 軸（EUX,MPE EUY,MPE） | ±（2.8 + 0.02 L）μm *7 | ||
XY 平面（EUXY,MPE） | ±（3.8 + 0.02 L）μm *7 | |||
Z 軸（EUZ,MPE） | ±（4.8 + 0.04 L）μm *4 | |||
外部遙控輸入 | 無電壓輸入（有接點/ 無接點） | |||
外部輸出 | OK/NG/FAIL/MEAS. | PhotoMOS 輸出 | ||
照明系統 | 背光 | 綠色LED 遠心背光照明 | ||
上方 | 彩色LED、白色LED 4 分割多角度照明（電動） | |||
外部照明控制 | 控制光量 | PWM 控制 100 kHz | ||
輸出電壓 | 12 VDC | |||
輸出電流 | 1.6 A（最大） | |||
XY 載物台 | 移動範圍 | 300 mm × 150 mm | ||
耐受重量 | 7 kg | |||
Z 載物台 | 移動範圍 | 75 mm（電動） | ||
電源 | 電源電壓 | 100 至240 VAC ±10％（50/60 Hz） | ||
功率消耗 | 150 VA 以下 | |||
環境抗耐性 | 環境溫度 | +10 至+35° C *8 | ||
相對濕度 | 20 至80%RH（無冷凝） | |||
過電壓種類 | Ⅱ | |||
污染等級 | 2 | |||
重量 | 約35 kg | |||
*1 於20 mm × 20 mm 的範圍內、聚焦點位置之工作環境溫度+23±1℃ 時 | ||||