產品規格 : 彩色共焦雷射位移計 - CL-3000 系列

光學模組・感測頭 - Quad 型

型號			CL-L007N	CL-L015N	CL-L030N	CL-L070N	CL-L150N
影像
類型			光學模組
感測頭			CL-L007 ^*1	CL-L015 ^*1	CL-L030 ^*1	CL-L070 ^*1	CL-L150 ^*1
參考距離			7 mm	15 mm	30 mm	70 mm	150 mm
標準量測範圍	量測範圍		±1.5 mm	±1.3 mm	±3.7 mm	±10 mm	±35 mm
	線性度		±2.1 μm ^*2	±0.49 μm ^*2	±0.94 μm ^*2	±2.2 μm ^*2	±5.65 μm ^*2
高精度量測範圍	量測範圍		±0.5 mm		±1.0 mm	±3.0 mm	±15 mm
	線性度		±0.91 μm ^*2	±0.41 μm ^*2	±0.72 μm ^*2	±2.0 μm ^*2	±4.65 μm ^*2
解析度			0.25 μm ^*3
光點直徑			ø750 μm	ø300 μm	ø500 μm	ø600 μm	ø1000 μm
雷射分類	光學模組		Class I
取樣周期			100/200/500/1000 μs（4 段階可變）
環境抗耐性	外殼防護等級	感測頭	IP67（IEC60529）
	環境光照		物體面照度 30000 lux（白熾燈）
	環境溫度		0 至+50°C
	相對濕度		85%RH 以下（無凝結）
	耐振動性	感測頭	10 至57 Hz 雙倍振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小時
		光學模組	10 至57 Hz 雙倍振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小時
	耐衝擊性		15 G 6 ms
溫度特性	感測頭		0.005% of F.S. /°C
	光學模組		0.015% of F.S. /°C
材質	感測頭		SUS	前方：SUS 後方：鋁
	光學模組		聚碳酸酯
重量	感測頭		約140 g	約180 g	約200 g	約280 g	約380 g
	光學模組		約1600 g
^1 感測頭與光學模組會搭配調整。無相容性。 ^2 使用本公司基準目標物（鏡面物體）以位移模式量測的數值。 ^*3 使用本公司基準目標物（鏡面物體）以平均次數 16384 次量測的數值。

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光學模組・感測頭 - 小光點型

型號			CL-P007N	CL-P015N	CL-P030N	CL-P070N	CL-P150N
影像
類型			光學模組
感測頭			CL-P007 ^*1	CL-P015 ^*1	CL-P030 ^*1	CL-P070 ^*1	CL-P150 ^*1
參考距離			7 mm	15 mm	30 mm	70 mm	150 mm
標準量測範圍	量測範圍		±1.5 mm	±1.3 mm	±3.7 mm	±10 mm	±35 mm
	線性度		±0.96 μm ^*2	±0.49 μm ^*2	±0.94 μm ^*2	±2.2 μm ^*2	±5.65 μm ^*2
高精度量測範圍	量測範圍		±0.5 mm		±1.0 mm	±3.0 mm	±15 mm
	線性度		±0.55 μm ^*2	±0.41 μm ^*2	±0.72 μm ^*2	±2.0 μm ^*2	±4.65 μm ^*2
解析度			0.25 μm
光點直徑			ø50 μm	ø25 μm	ø38 μm	ø50 μm	ø75 μm
雷射分類	光學模組		Class I
取樣周期			100/200/500/1000 μs（4 段階可變）
環境抗耐性	外殼防護等級	感測頭	IP67（IEC60529）
	環境光照		物體面照度 30000 lux（白熾燈）
	環境溫度		0 至+50°C
	相對濕度		85%RH 以下（無凝結）
	耐振動性	感測頭	10 至57 Hz 雙倍振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小時
		光學模組	10 至57 Hz 雙倍振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小時
	耐衝擊性		15 G 6 ms
溫度特性	感測頭		0.005% of F.S. /°C
	光學模組		0.015% of F.S. /°C
材質	感測頭		SUS	前方：SUS 後方：鋁
	光學模組		聚碳酸酯
重量	感測頭		約140 g	約180 g	約200 g	約280 g	約380 g
	光學模組		約1600 g
^1 感測頭與光學模組會搭配調整。無相容性。 ^2 使用本公司基準目標物（鏡面物體）以位移模式量測的數值。

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型號			CL-S015N	CL-V020N	CL-V050N	CL-PT010N
影像
類型			光學模組
感測頭			CL-S015 ^*1	CL-V020 ^*1	CL-V050 ^*1	CL-PT010 ^*1
參考距離			15 mm	20 mm	50 mm	10 mm
標準量測範圍	量測範圍		±1.0 mm	±1.3 mm	±4 mm	±0.3 mm
	線性度		±0.35 μm ^*2	±0.45 μm ^*2	±1.4 μm ^*2	±0.22 μm ^*2
高精度量測範圍	量測範圍		-0.2 mm/-1.0 mm	±0.5 mm	±1.6 mm	±0.15 mm
	線性度		±0.25 μm ^*2	±0.38 μm ^*2	±1.3 μm ^*2	±0.2 μm ^*2
解析度			0.25 μm ^*3
光點直徑			ø10 μm	ø20 μm	ø40 μm	ø3.5 μm
雷射分類	光學模組		Class I
取樣周期			100/200/500/1000 μs（4 段階可變）
環境抗耐性	外殼防護等級	感測頭	IP50	IP40 真空用除氣結構 ^*5		IP64（IEC60529）
	環境光照		物體面照度 30000 lux（白熾燈）
	工作環境溫度	感測頭	-20 至+70°C	-20 至+200°C		0 至+50°C
		光學模組	0 至+50°C
	相對濕度		85%RH 以下（無凝結）
	耐振動性	感測頭	10 至57 Hz　雙倍振幅1.5 mm　X、Y、Z 方向各2 個小時			10 至57 Hz　雙倍振幅0.45 mm　X、Y、Z 方向各2 個小時
		光學模組	10 至57 Hz　雙倍振幅0.3 mm　X、Y、Z 方向各2 個小時
	耐衝擊性		15 G 6 ms
	真空		支援真空	支援超高真空 ^*6		無
溫度特性	感測頭		0.005% of F.S. /°C ^*4	0.013% of F.S. /°C ^*4	0.015% of F.S. /°C ^*4	0.1% of F.S. /°C ^*4
	光學模組		0.015% of F.S. /°C
材質	感測頭		SUS303/304	SUS304		前方：SUS 後方：鋁
	光學模組		聚碳酸酯
重量	感測頭		約350 g	約100 g		約1100 g
	光學模組		約1600 g
^1 感測頭與光學模組會搭配調整。無相容性。 ^2 使用本公司基準目標物（鏡面物體）以位移模式量測的數值。 ^3 使用本公司基準目標物（鏡面物體）以平均次數 16384 次量測的數值。 ^4 這是用SUS303（或SUS304）製成的夾具固定感測頭和待測物取得數值。 ^5 貼上附帶密封帶後，相當於IP50。 ^6 已在10^-6Pa 環境下進行動作驗證。

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產品規格 彩色共焦雷射位移計 CL-3000 系列

光學模組・感測頭 - Quad 型

光學模組・感測頭 - 小光點型

產品規格彩色共焦雷射位移計 CL-3000 系列