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3D 干涉式位移感測器
WI-5000 系列
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產品規格(PDF)
手冊
CAD 資料
360° 檢視 (3D PDF)
產品尺寸
軟體
型號
WI-S1
XY 載物台移動量
X 軸:75 mm,Y 軸: 50 mm
XY 載物台傾斜角度
±2 度
Z 軸載物台移動量
粗調節輪:64 mm,細調節輪: 2.0 mm
外形尺寸(不含可動部)
寬度 231 × 高度 408 × 深度 360 mm
重量
約 10 kg
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