產品規格 3D 干涉式位移感測器 WI-5000 系列

型號

WI-001*1*2*3

WI-004*1*2*3

WI-010*1*2*3

影像

參考距離

18 mm

量測範圍

Z

1.4 mm(標準模式),0.7 mm(高速模式)

XY

1 × 1 mm

4 × 4 mm

10 × 10 mm

最小檢測區域

4 × 4 µm

15 × 15 µm

40 × 40 µm

重複精度(段差)

0.1 µm*4

直線性(段差)

±2.8 µm(±0.2% of F.S.,F.S.=1.4 mm、+20 至+30℃)*5

量測用光源

類型

紅外SLD

中心波長

830 nm

雷射分類(IEC60825-1)

等級 3R

輸出

3.6 mW

引導用光源

類型

紅光半導體雷射

波長

660 nm

雷射分類(IEC60825-1)

第1 類

輸出

0.15 mW

取樣週期

內部觸發

133 ms(高速模式),266 ms(標準模式)

外部觸發

最快 266 ms(高速模式),最快 532 ms(標準模式)*6

環境抗耐性

環境光照

白熾燈/螢光燈: 5,000 lux 以下

環境溫度

0 至 +35 °C

相對濕度

20 至 85 % RH (無凝結)

重量

約 3,000 g

*1 FDA (CDRH) 的雷射分類是基於 IEC60825-1 並根據 Laser Notice 的要求而實施的。高度(從感測頭基準面到量測工件的距離)的解析度為 1 µm(*2)。
*2 使用KEYENCE 標準目標物,並量測單一矩形區域(*3)的平均高度30 秒時之±3σ 值(關閉自動修復時)。
*3 矩形尺寸為WI-001: 0.3 × 0.9 mm,WI-004: 1.1 × 3.7 mm,WI-010: 3 × 9 mm。
*4 使用KEYENCE 標準目標物,並量測 2 個矩形區域(*3)的平均段差 30 秒時之σ 值(關閉自動修復時,且拍攝時序為精確度優先時)。
*5 使用KEYENCE 標準目標物,並量測 2 個矩形區域(*3)的平均段差時的值(關閉自動修復時,且拍攝時序為精確度優先時)。
*6 拍攝時的工件停止時間為高速模式 120 ms,標準模式 240 ms。

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型號

WI-5000

影像

感測頭連接台數

1 台

設定登錄數

SD 卡 1、SD 卡 2 各可儲存 1000 個(視SD 卡 容量和設定內容而定),支援外部切換

量測工具數

100 個/ 設定(其中20 個為位置偏移補正用)

量測模式

高度

高度測量、段差測量、多點高度測量(固定配置)、多點高度測量(自由配置)、輪廓測量、連續高度測量

圖像尺寸測量

距離測量、寬度測量、直線檢測、角度測量、圓檢測、點檢測

輔助功能

數值計算、圖像範圍生成、直線顯示、圓顯示、點顯示、刻度線顯示

介面

控制輸入

20 點(輸入端子台5 點,平行 I/O 15 點)

控制輸出

・28 點(輸出端子台 6 點,平行 I/O 22 點)
・光MOSFET*1

RS-232C

數值輸出及控制輸入/ 輸出(無法與使用 RS-232C 連接埠的 PLC 連接同時使用)

PLC 連接

透過 Ethernet 連接埠或 RS-232C 連接埠進行數值輸出和控制輸入/ 輸出(無法與 EtherNet/IP™同時使用。使用 RS-232C 連接埠時,無法與 RS-232C 無協議通訊同時使用)

Ethernet

・數值輸出及控制輸入/ 輸出
・與KEYENCE 製PC 應用程式軟體連接後,除上述功能外,還可進行包含上傳與下載檢查設定、各種模擬、圖像資料在內的各種資料之收發、遠程連接
・支援FTP 客戶端、伺服器功能,支援VNC 伺服器功能(電腦以外的客戶端僅支援顯示器畫面顯示)、BOOTP 功能
・1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T

USB

・與KEYENCE 製PC 應用程式軟體連接後,除數值輸出、控制輸入/ 輸出外,還可進行包含上傳與下載檢查設定、各種模擬、圖像資料在內的各種資料之收發、遠程連接
・USB2.0 專用

EtherNet/IP™

・使用 Ethernet 連接埠進行數值輸入/ 輸出及控制輸入/ 輸出(無法與 PLC 連接同時使用)
・支援周期性通訊(最多1436 位元組),支援訊息通訊
・最大連接數 32
・遵循符合性測試 CT12 版

滑鼠

使用選購配件的專用滑鼠(控制器隨附),即可進行各種選單操作

USB HDD

連接專用USB 連接埠(符合 USB3.0、支援匯流排電源: 額定輸出 900 mA)至HDD(最大 2 TB)後,即可輸出包含圖像資料在內之各種資料

顯示器輸出

類比 RGB 輸出 XGA 1024 × 768(24 bit 彩色,60 Hz)

最小顯示單位

0.1 µm、0.001°、0.0001 mm2、0.00001 mm3

顯示語言

支援 中文(繁體)/ 中文(簡體)/ 日文/ 英文/ 韓文 切換

額定

最大消耗電流

2.7 A

電源電壓

24 VDC ±10 %

環境抗耐性

環境溫度

0 至 +45 °C (DIN 軌安裝)、0 至 +40 °C (底部安裝)

相對濕度

35 至 85 % RH (無凝結)

重量

約 2,000 g

*1 支援NPN 輸入設備的+ 共用連接、支援PNP 輸入設備的- 共用連接皆可。

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型號

WI-S1

影像

XY 載物台移動量

X 軸:75 mm,Y 軸: 50 mm

XY 載物台傾斜角度

±2 度

Z 軸載物台移動量

粗調節輪:64 mm,細調節輪: 2.0 mm

外形尺寸(不含可動部)

寬度 231 × 高度 408 × 深度 360 mm

重量

約 10 kg

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型號

WI-C3

WI-C5

WI-C10

WI-C3L

WI-C5L

WI-C10L

WI-C3R

WI-C5R

WI-C10R

影像

類型

感測頭連接纜線 標準

感測頭連接纜線 耐彎曲

纜線末端

直型

L 型

直型

直型 - 散線

直型

長度

3 m

5 m

10 m

3 m

5 m

10 m

3 m

5 m

10 m

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