光譜干涉晶圓測厚儀
SI-F80R 系列
控制器 不可用於匯出控制 SI-F1003
產品規格
型號 | SI-F1003*1 | |||
類型 | 主控制器 獨立型*2 | |||
可連接的光譜模組數 | 2 | |||
顯示器 | 最小顯示單位 | 0.001 µm | ||
顯示範圍 | ±999.999 µm 至 ±9999.99 mm(可選 7 種設定) | |||
顯示週期 | 10 次/秒 | |||
端子台 | 雷射遠程聯鎖輸入 | 非電壓輸入*3 | ||
定時1 輸入 | 非電壓輸入 2*3 | |||
重置1 輸入 | 非電壓輸入*3 | |||
自動歸零1 輸入 | ||||
雷射控制輸入 | ||||
類比電壓輸出 | ±10 V x 2 輸入,輸出電阻:100 Ω*3 | |||
類比電流輸出 | 4 至 20 mA x 2 輸出,最大負載電阻:350 Ω*3 | |||
警報輸出 | NPN 開路集電極輸出(N.C.)*3 | |||
通用比較器輸出 | NPN 開路集電極輸出*3 | |||
擴充介面 | 定時輸入 | 非電壓輸入 2*3 | ||
重置輸入 | 非電壓輸入*3 | |||
自動歸零輸入 | ||||
程式切換輸入 | 非電壓輸入 x 3 輸入*3 | |||
警報輸出 | NPN 開路集電極輸出(N.C.)*3 | |||
判定/ 二進位輸出 | 二進位輸出 | 量測資料輸出 (21 位), 可選 OUT 的 NPN 開路集電極輸出*3 | ||
選通脈衝輸出 | NPN 開路集電極輸出*3 | |||
二進位選取輸出 | ||||
二進位選取輸入 | 非電壓輸入*3 | |||
RS-232C 介面 | 量測資料輸出和控制輸入/輸出 (波特率最高可選取 115200 bps) | |||
USB 介面 | 相容 2.0 HighSpeed(相容 USB 1.1 Full-SPEED) | |||
Ethernet 介面 | 100Base-TX/10Base-T | |||
主要功能 | 12 個 OUT 同時量測 | |||
額定 | 電源電壓 | 24 VDC ±10 %、紋波 (P-P) 10 % 以下 | ||
消耗電流 | 連接 1 個感測頭時:0.6 A 以下、連接 6 個感測頭時:1.5 A 以下。 | |||
環境抗耐性 | 環境溫度 | 0 至 +50 °C*4 | ||
相對濕度 | 35 至 85 % RH (無凝結) | |||
耐振動性 | 10 至 55 Hz、雙倍振幅 0.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 小時 | |||
重量 | 約 600 g | |||
*1 可單獨使用SI-F1000。量測值以及設定變更,可透過顯示面板(SI-FD500)或設定支援軟體(SI-H1)進行。 |