光譜干涉晶圓測厚儀
SI-F80R 系列
感測頭擴展模組 不可用於匯出控制 SI-FA103
產品規格
型號 | SI-FA103 | |||
類型 | 擴充控制器*1 | |||
獨立型 | SI-FA103 | |||
可連接的光譜模組數 | 1 | |||
顯示器 | 最小顯示單位 | 無 | ||
顯示範圍 | ||||
顯示週期 | ||||
端子台 | 雷射遠程聯鎖輸入 | 無*2 | ||
定時1 輸入 | ||||
重置1 輸入 | ||||
自動歸零1 輸入 | ||||
雷射控制輸入 | ||||
類比電壓輸出 | ±10 V x 1 輸入,輸出電阻:100 Ω*2 | |||
類比電流輸出 | 4 至 20 mA x 1 輸出,最大負載電阻:350 Ω*2 | |||
警報輸出 | 無*2 | |||
通用比較器輸出 | ||||
擴充介面 | 定時輸入 | |||
重置輸入 | ||||
自動歸零輸入 | ||||
程式切換輸入 | ||||
警報輸出 | ||||
判定/ 二進位輸出 | 二進位輸出 | |||
選通脈衝輸出 | ||||
二進位選取輸出 | ||||
二進位選取輸入 | ||||
RS-232C 介面 | 無 | |||
USB 介面 | ||||
Ethernet 介面 | ||||
主要功能 | 12 個 OUT 同時量測 | |||
額定 | 電源電壓 | 隨主控制器提供 | ||
消耗電流 | ||||
環境抗耐性 | 環境溫度 | 0 至 +50 °C*3 | ||
相對濕度 | 35 至 85 % RH (無凝結) | |||
耐振動性 | 10 至 55 Hz、雙倍振幅 0.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 小時 | |||
重量 | 約 300 g | |||
*1 最多可在主控制器上連接 4 個擴充控制器。 |