產品規格 光譜干涉晶圓測厚儀 SI-F80R 系列

型號

SI-F80R^*1

影像

類型

晶圓厚度量測型 感測頭

量測範圍

10 到 310 µm (n=3.5 時)^*2

可實現的檢測距離

80 到 81.1 mm

光源

紅外 SLD 輸出 0.6 mW, 第1 類雷射產品（IEC60825-1,FDA（CDRH）Part 1040.10 ^*3）

光束直徑

ø25 µm^*4

線性度

±0.1 µm^*5

解析度

0.25 µm^*6

取樣周期

200 µs

LED 指示器

目標靠近量測中心 : 綠光。目標在量測範圍內 : 橙光。目標在量測範圍外 : 橙光閃爍。

溫度波動

―

環境抗耐性

外殼防護等級

IP64

環境光照

白熾燈/螢光燈：最大 10,000 lux

環境溫度

0 至 +50 °C

相對濕度

35 至 85 % RH (無凝結)

耐振動性

10 至 55 Hz、雙倍振幅 1.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 小時

材質

SUS

重量

約 70 g(含連接線)