顯微鏡 / 表面測量儀
工業與生命科學應用領域的進階顯微鏡。
產品陣容
配備了同級最高解析度的4K CMOS以及4K支援鏡頭，並搭載了進階光學陰影效果模式，使以往無法看見的細微凹凸也能清晰地觀察。具備多種自訂選項，能應對各種分析任務。包括瞬間自動判別差異的異常識別功能、分析範圍是以往9倍的300 mm大型載物台、支援金相顯微鏡的高解析度轉盤式鏡頭等功能。
VHX 系列元素分析模組上市，實現了使用數位顯微鏡進行元素分析。只需將目標物放置於載物台上，無需破壞目標物，也不需要蒸鍍或抽真空。搭載AI-建議，誰都能對元素分析後的物質確認作出適當判斷。
採用雷射共軛焦、白光干涉、Focus Variation 3種不同掃描原理的「三重掃描方式」。以高精度量測、分析各種目標物。實現最高解析度0.01 nm，奈米等級微小形狀變化也可正確量測。最大掃描區域50 mm平方，大的凹凸・手掌大小的目標物可完整掃描全貌與部分形狀皆可一台掌握。對於鏡面體・透明體等難度高的材質，可高速、高精度、大範圍量測。高倍率/低倍率、平面/凹凸/表面粗糙度、鏡面/透明等目標物不受限的全新雷射顯微鏡。
