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只需放置樣品後按一鍵,就能全自動完成量測的雷射顯微鏡。從光學顯微鏡到SEM的觀察領域,1 台包含觀察力、瞬間正確掃描各種形狀目標物的量測力、豐富的分析工具等。能因應各種觀察、量測、分析的需求。
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採用雷射共軛焦、白光干涉、Focus Variation 3種不同掃描原理的「三重掃描方式」。以高精度量測、分析各種目標物。實現最高解析度0.01 nm,奈米等級微小形狀變化也可正確量測。最大掃描區域50 mm平方,大的凹凸・手掌大小的目標物可完整掃描全貌與部分形狀皆可一台掌握。對於鏡面體・透明體等難度高的材質,可高速、高精度、大範圍量測。高倍率/低倍率、平面/凹凸/表面粗糙度、鏡面/透明等目標物不受限的全新雷射顯微鏡。
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光學顯微鏡到 SEM 的領域 1 台涵蓋
非接觸式瞬間掃描形狀
掌握真正想知道的表面的「差異」
可依樣本工件的材質、形狀、量測範圍,選擇雷射共軛焦、白光干涉、Focus Variation 3種不同掃描原理,達到高精度量測。
形狀分析雷射顯微鏡
VK-X 系列
停產
彩色 3D 雷射掃描顯微鏡
VK-8700/9700 GenerationII 系列