軌道溝槽位置量測（辨別正反面）

量測軌道溝槽的位置，以辨別正反面。以往是以目視或使用影像處理進行，但因尺寸差極小故會發生誤判。TM-X5000 系列為支援可追溯性的測微計，省略所有繁瑣的校正步驟，可根據 µm 級的量測結果確實進行正反面判定。此外，量測部中搭載雙遠心鏡頭，可更敏銳而穩定地檢查量測工件的位置偏移。