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過去還沒有能在 100°C 以上環境使用的量測器,因此需要隔著視埠從外面進行量測。SI 系列可將量測頭放入高溫室中執行量測,連溫度飄移也不會發生,故可執行高精度的評估測試。
微型光譜干涉雷射位移計
SI-F 系列
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