旋轉塗佈機的高度量測

為維持穩定的塗佈精度，正確調整塗佈頭與晶圓的距離是非常重要的。CL 系列採用小型感測頭，容易安裝於設備上，即使是像矽晶圓這樣的鏡面目標物，一樣能正確地量測距離。

彩色共焦雷射位移計

CL-3000 系列

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