光罩與晶圓的間距量測

隔著光罩掌握與晶圓之間的距離，藉以量測間距。SI-F 系列的產品陣容內含可安裝於距離目標物約 80 mm處的感測頭。可實現解析度 0.25 µm 的超高精度量測，而不會干涉裝置內的零件。

微型光譜干涉雷射位移計

SI-F 系列