輸送晶圓時的振動量測

SI-F 系列的產品陣容內含 ø2 mm 的微型感測頭，大幅降低了安裝上的限制。而且，完全排除感測頭內部的電子零件後，更成功完成了許多以往無法執行的量測，例如在高溫環境中及真空環境中的量測等等。

微型光譜干涉雷射位移計

SI-F 系列