晶圓外緣的形狀量測

磨削大口徑晶圓時，為減少輸送風險及翹曲，加工時可能會保留數 mm 的外圍部分。LJ-X 系列可以瞬間量測此外圍部分的寬度及段差等資料。只要一邊旋轉晶圓一邊進行量測，即可檢查整個晶圓外圍的形狀。

超高精細線上輪廓感測器

LJ-X8000 系列