晶圓的突起物高度量測

使用工具顯微鏡來檢查位於晶圓上的大量突起物，不僅耗時，人員的勞力與人為誤差也會是需要解決的課題。有了可以瞬間同時檢查量測範圍的 WI 系列，即可提升檢查精度、大幅縮短時間。

3D 干涉式位移感測器

WI-5000 系列