晶圓盒突出檢查

檢測稍微突出載具的晶圓。有了採用同軸量測原理的CL 系列，即使是要執行一般以三角測距感測器量測會受到漫射光影響的檢測，也能完成穩定的檢查。

彩色共焦雷射位移計

CL-3000 系列

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