機械手臂的殘留振動檢查

在輸送晶圓及光罩等物品時，非常重要的是要等到輸送設備停止後的殘留振動止歇，才能進到下一個工程。以雷射位移計確認有無殘留振動，便可預防下一個製程所發生的設備問題或加工不良。

彩色共焦雷射位移計

CL-3000 系列