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量測陶瓷封裝的平坦度。以面來捕捉目標物,可對以最小二乘法所計算出之基準平面,來量測平面度。由於可消除因安裝目標物時之傾斜而造成的誤差影響,可做到正確的檢查。
超高精細線上輪廓感測器
LJ-X8000 系列
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