量測晶圓外緣的形狀

量測晶圓外緣的形狀。只要選擇段差、寬度、角度等量測工具，即可簡單量測。此外 3200 point/Profile 的超高精細拍攝，達到了以往相當困難的高精度形狀量測。

超高精細線上輪廓感測器

LJ-X8000 系列