檢測凹口位置

以往是用 1D 雷射位移計來檢測凹口位置。隨著晶圓越來越薄，翹曲幅度也變得較大，因此出現了光點不準的問題。由於 LJ-V 系列使用了線性雷射，可因應因晶圓翹曲所造成的位置偏移問題。

超高速線上輪廓感測器

LJ-V7000 系列