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量測功率模組端子的平面度。以面來捕捉目標物,可對以最小二乘法所計算出之基準平面,來量測平面度。消除了因設置目標物時傾斜帶來的誤差,可做到正確量測。
超高精細線上輪廓感測器
LJ-X8000 系列
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