平面度的量測
量測指定平面之「表面凹凸」的平面度。
最凸出及最凹陷的部份必須在上下分離2個平面之間夾住的一定距離。
圖面範例
千分錶的量測
- a
- 目標物
- b
- 平台
- c
- 千分錶
將目標物放在精密平面平台固定，並千分錶的量測部設置在接觸到量測面。
移動目標物，以使量測處均等，讀取千分錶的數值。
這些偏差的最大值即平面度。
問題點
量測點依目標物移動方式改變，因此量測值也可能改變。因此，難以取得穩定的量測值。
三次元測量儀的量測
- a
- 目標物
將探針輕點4點以上並進行點量測，即可量測平面度。
若增加量測點，則即使量測範圍廣，亦可進行高精度且穩定的量測。
- 量測畫面
-
- a
- 平面度的量測結果
