線上量測儀器 首頁
線上量測儀器的選擇
量測目標物形狀/輪廓。除了有使用點雷射量測的1D雷射位移計以外,還可以提供掃描「面」捕捉形狀,之後抽取截面形狀組成3D圖形的3D雷射位移計。量測方法會因量測條件和目標物而不同,推薦的檢查方式也隨之不同,如需進一步討論,可與您最近的KEYENCE服務處聯繫。
下載量測說明集
反射
觸控螢幕電極形狀量測
光切
輪胎胎面形狀量測
白光干涉
蝕刻後段差量測
穿透(不透明)
氣囊導管形狀量測
檢查電極的纏繞散亂
檢查電極的切斷位置
量測晶圓外緣的形狀
輸送薄膜時的起伏、皺褶量測
利用直徑3.5um的小光點掃描,可準確地量測目標物形狀。
彩色共焦雷射位移計
CL-3000 系列
使用最寬720mm的藍光雷射照射,量測胎面形狀。使用多個感測頭可對輪胎進行全面量測。
超高精細線上輪廓感測器
LJ-X8000 系列
可同步量測包括鏡面體在內的量測區域,消除人為量測誤差,縮短檢查時間。
3D 干涉式位移感測器
WI-5000 系列
可高速並連續量測醫療用氣囊導管形狀,即時量測各部位尺寸。
2D 高速測微計
TM-3000 系列
檢查捲繞工序後是否存在捲繞散亂。LJ-X8000 系列的X 軸解析度最小可達2.5μm,可正確量測每一片電極的形狀。
將積層前的電極切斷位置反饋給裝置。透過正確捕捉塗佈材料端部的形狀,可高精度檢查邊緣的位置。
量測晶圓外緣的形狀。只要選擇段差、寬度、角度等量測工具,即可簡單量測。此外 3200 point/Profile 的超高精細拍攝,達到了以往相當困難的高精度形狀量測。
以最大寬度720 mm照射藍光雷射,量測薄膜的起伏、皺褶。CMOS的動態範圍廣泛,透明工件也可量測。
詳細量測應用案例