靜電破壞對策Q&A

靜電破壞的原因中的帶電體有作業人員、裝置類、半導體元件本身等，但這些原因可分成「人體模型 / 人體放電模型 (HBM)」、「機器模型 / 機器放電模型 (MM)」、「元件帶電模型 / 充電器件模型 (CDM)」三種。

人體模型 / 人體放電模型（HBM：人對元件放電）

機器模型 / 機器放電模型（MM：金屬體、導電體對元件放電）

充電器件模型 / 元件帶電模型（CDM：因元件本身帶電造成破壞）

近年來電子零件因不斷輕量、小型化，對靜電的耐受性也變得非常敏感。
雖然只是參考值，但MOS半導體大約只要施加80 V至100 V的電壓就可能會失去半導體的功能。

人體會感覺到刺痛的程度大約是3 kV的電壓，因此可想像是多麼微量的電壓就會造成破壞。

防靜電腕帶的作用是防止人體帶電，以及避免突然對人體放電（腕帶內有數MΩ的電阻，可防止突然劇烈放電）。因此雖然是對人體放電模式而言是有效的方法，但若是元件本身因摩擦等而帶靜電，將無法防止放電。

此外，還有使用上的問題，例如將腕帶纏繞於手腕時可能會造成接地脫落（即使有妥善配線，也會因汗水乾掉後變成鹽分而造成與接地線絕緣的狀態等），另外經常聽到的意見就是必須定期檢查、操作性變差、難以維持原本的使用方法等。

導電布的功能是用於抑制靜電產生，並防止靜電急劇放電。
若要使用導電布，使用上的概念視帶電物為絕緣體或導體而異。

帶電物為絕緣體

靜電感應是指在如同金屬體（導體）般能讓電流導通的物質上所產生的現象。此現象就如圖所示，一旦帶電的物質靠近，金屬體（導體）內部的電子就會移動，而金屬體（導體）表面部分所帶的靜電正好會與帶電物質的極性呈相反的狀態。

帶電物為導體

剝離帶電是指把原本彼此接觸的物體剝離（分離）時產生的強力帶電現象。
由於是剝離（分離）的動作造成帶電，因此一般稱為「剝離帶電」。
此時剝離的速度越快，帶電量就會增加越多。

在對安裝基板組裝樹脂零件的作業中最常聽聞的就是在導電墊片上或金屬製的組裝夾具上進行作業。在這種可能會受到靜電感應影響的狀況下很難順利進行靜電消除，因此請盡可能的在中空的狀態下進行靜電消除。例如，若樹脂零件可能會貼合金屬製的組裝夾具平面，請盡可能縮小接觸樹脂零件的面積，以及盡量遠離導體等，在這些地方下功夫或許就能有效消除靜電。

就如同吸附晶片後輸送時，或輸送液晶面板的玻璃基板時，物體會因摩擦或剝離而帶電。

帶電的物體在生產過程的各種場合下都有放電的可能性，因此也具有靜電破壞的危險性。（例如製造晶片時，在吸附的瞬間有時會放電。）

雖然目前會對元件加設保護電路，或提高耐壓性等，製造出靜電耐受性比以往高許多的產品，但由於對小體積化的需求，元件本身體積越來越小，且為了提高能力而組裝了更多的零件，配線間隔也縮小許多，因此無法獲得較大的效果。

所以在製程中必須隨時意識到周圍是否有帶電，在吸附、剝離前後使用靜電消除器來進行靜電對策就成了有效的除靜電手段。

如晶片這麼小的物體，可使用局部消除靜電的定點型的靜電消除器；玻璃基板等較大型物體則使用棒型靜電消除器；為加速設備產距時間則盡可能使用靜電消除速度快的靜電消除器等，都是有效的方法。

尤其是帶電的物體為中空，接觸式的接地及導電墊片並無法發揮效果，因此只有使用靜電消除器才能進行靜電對策。

若考量人體帶電模式、機器帶電模式及元件帶電模式，就能了解所有作業人員、元件、周圍的物體整體都能消除靜電的話就是最理想的狀態。因此要避免靜電破壞，採取空間靜電消除的對策是最有效的。若要對整個空間進行靜電消除，使用靜電消除器是最佳的方法。