雷射的原理
何謂光?
光是一種「電磁波」。「電磁波」有波長的基準,由長到短可分成電波、紅外線、可視光、紫外線、X光、伽瑪射線等。
何謂顏色?
照射到物體的波長中,不被物體吸收而被反射的波長進入肉眼(視網膜),我們就會把這樣的波長視為物體的「顏色」。不同波長有不同的折射率,因此光會分散。所以我們得以識別各式各樣的「顏色」。例如:紅色的蘋果(人接收到肉眼看起來是紅色的特定波長光線的日光)是反射紅色波長的光(600至700 nm),吸收所有其他波長的光。*黑色物體則是吸收了所有的光,所以看起來呈黑色。
何謂可視光?
電磁波當中,肉眼可見的波長範圍的光稱為「可視光」。可視光的短波長為360至400 nm,長波長為760至830 nm,只要波長超出「可視光」的範圍,不論波長是長是短,肉眼都看不到。
雷射與普通光的差異
普通光 (如燈光) 和雷射光的差異,首先雷射會發出高指向性光束,幾乎不會擴散,而是筆直前進。相對地,普通光源則會發出向四面八方擴散的光。其次雷射可以只有一種顏色,稱為單色性。普通光則一般都混合有多種顏色的光,像螢光燈這種看起來是白色的光就是一個例子。
再者雷射的光波之間,就時間來看波峰和波峰極為一致,重疊雷射光時清晰的波峰、波谷會互相加乘,出現干涉條紋,這種特徵稱為同調性。
普通光 | 雷射光 | |
---|---|---|
指向性 (準直性) |
電燈泡 | 雷射 |
單色性 | 波長不一 | 波長固定 |
同調性 (Coherence) |
相位不同 | 波峰波谷一致 |
雷射的語源
「雷射」是「Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation」,「通過受激輻射產生的光放大」的縮寫,取每個字的第一個字母就是LASER這個字的語源。
雷射的原理
原子(分子)自外部吸收能量後,就會從低能階(低能量狀態)移至高能階(高能量狀態)。此狀態稱為激發態。
激發態是不穩定的狀態,原子會想立刻回到低能階,這種特性稱為遷移。
此時會釋放出相當於兩個能態之間能量差的光,這種現象稱為自發放射。放射出來的光和其他一樣位於激發態的原子衝突,激發相同的遷移,這種經激發後放射的光就稱為激發放射。
雷射的種類
雷射大致可分為固體、氣體、液體3種。
最佳的雷射會因目的加工用途而異。
固體
- Nd:YAG
- YAG(釔、鋁、石榴石)
-
基本波長(1064 nm)
- 通用刻印用途
二次諧波(532 nm)(綠光雷射)
-
- 用於矽晶圓等軟刻印用途
- 用於精細刻印、加工
三次諧波(355 nm)(UV雷射)
-
- LCD刻印、修復加工、VIA孔加工等超精細加工用途
- 液晶修復加工…切割塗層圖案進行修復的製程
- VIA孔加工…印刷電路板的孔加工
- YAG雷射(Nd:YAG)
- YAG雷射適用於樹脂材質到金屬材質的刻印、修整等各種加工用途。雷射波長為1064 nm的近紅外光,肉眼看不到。
YAG係指具有Y(釔)、A(鋁)、G(石榴石)結晶結構的固體,此結晶再摻雜Nd(釹離子)這種發光元件,由結晶側照射光(燈光或LD)就會進入激發態。
- Nd:YVO4(1064 nm)
- YVO4(釔、釩酸)
-
-
- 小字刻印用途
- 以高Qsw頻率提供高峰值功率
- 能量轉換效率佳
-
- YVO4雷射(Nd:YVO4)
- YVO4雷射用於更小的文字和加工等精細刻印用途。雷射波長和YAG相同,為1064 nm的近紅外光,肉眼看不到。
YVO4係指具有Y(釔)V(釩)O4(氧化物)或Y(釔)VO4(釩酸)結晶結構的固體,此結晶再摻雜Nd(釹離子)這種發光元件,由結晶尾部照射集中的LD光就會進入激發態。
- Yb:Fiber(1090 nm)
- Yb(鐿)
-
-
- 高功率輸出刻印用途
- 放大介質的表面積非常大,可輕鬆提供高功率輸出
- 冷卻效率高,冷卻機構簡單,可小型化
-
- LD(650至905 nm)
-
- 半導體雷射(GaAs、GaAlAs、GaInAs)
氣體
- CO2(10.6 μm)
-
- 加工機、刻印用途、雷射手術刀
- CO2雷射
- CO2雷射主要用於加工機和刻印用途。
雷射波長為10.6 μm的紅外光,肉眼看不到。而振盪器內除CO2氣體外,也有規定量的N2(氮)和He(氦),以完全密封的狀態封入。
這就稱為「密封式」。N2有提高CO2能階,反之He則有降低至穩定狀態的功能。
- He-Ne(630 nm)(紅色)是一般的
-
-
- 測量儀用途(形狀量測等)
- 最常用的雷射
- 用於功率較低的形狀量測等
-
- 準分子雷射(193 nm)
-
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- 半導體曝光裝置、眼科醫療
- 混合惰性氣體和鹵素氣體,可用較簡單的結構生成
- 終極的紫外線雷射(DUV),吸收率非常高
- (眼科醫療中用於讓水晶體蒸發,在視網膜上聚焦的矯正治療)
-
- 氬氣(488至514 nm)
-
-
- 理化學用途
- 可發出各種顏色,在研究機構主要用於生化領域等
-
液體
- Dye(330至1300 nm)
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-
- 理化學用途
- 經雷射光激發的色素發出螢光
-
各波長特性
CO2雷射刻印機 |
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綠光雷射刻印機 |
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UV雷射刻印機 |
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雷射的振盪原理
以下說明雷射光振盪的原理。
1.激發
光由外部射入,原子中的電子會吸收光,由能量最低的狀態=基態進入高能量狀態。能量高時電子就會由平常的軌道移動到外側的軌道。這種能量高漲的狀態就稱為『激發』。
- ■原子狀態
-
- ■電子狀態
2.自發放射
被激發的電子會視吸收的能量多寡,提高能階。能階提高後的電子經過一段緩和時間後,就會想回到穩定而釋放出能量,嘗試回到低能階狀態。此時會發射出和釋放的能量相同能量的光。這種現象稱為『自發放射』。
- ■原子狀態
- ■電子狀態
3.激發放射
如下圖所示,高能量狀態電子存在,當和此電子的能量相同能量的光射入,就會釋放出能量、相位、前進方向完全相同的光。也就是說,出現射入時的一道光,射出時變成二道光的現象。這就稱為『激發放射』。
激發放射的光因為有一致的能量、相位、前進方向,只要能激發放射許多光,就可以創造出符合此3要素的強烈光。雷射光就是利用激發放射的現象,放大入射光所創造出來的光。因此具有以下特徵:
1.單色性(所有光的能量相等)、2.同調性(相位一致)、3.高指向性(前進方向一致)。
- ■原子狀態
- ■電子狀態
4.居量反轉狀態
以激發放射讓雷射光振盪,高能量狀態的電子密度就必須遠高出低能量狀態的電子密度=『居量反轉狀態』。也就是說,讓激發放射出來的光量遠超出被吸收的光量,才有可能創造出有效的雷射光。
- 電子的居量反轉狀態
-
- =高能量狀態的電子多
- =低能量狀態的電子少
5.雷射振盪
居量反轉狀態時1個電子自發放射出光,此光就會激發其他電子放射出光,光的數量連鎖性增加,因而創造出強烈的光。這就是雷射振盪的機制。
- 電子的居量反轉狀態
雷射振盪器的結構
雷射3要素
雷射振盪器由以下3要素構成。
- 雷射介質
- 激發源
- 放大器
- 雷射介質
- 激發源
- 放大器