掃描電子顯微鏡

掃描電子顯微鏡一種使用電子束掃描樣本表面的電子顯微鏡。這類系統不僅能拍攝大景深、高解析度影像，而且可以實現極高的放大率。SEM可搭載元素分析儀，用於確定目標物的化學組成。