接觸式表面粗糙度、形狀量測儀器

接觸式表面粗糙度

使用接觸式儀器時，探針尖端會直接接觸樣本表面。
探針安裝在檢測器的前端，會對樣本表面進行追蹤，發生垂直運動以供電子檢測。
紀錄經過放大和數位轉換等處理後的電子訊號。

要利用接觸式表面粗糙度量測計精確量測細微的形狀和粗糙度，接觸壓力要小，探針頂端的半徑也必須愈小愈好。
探針是用藍寶石或鑽石製成，頂端半徑通常小於10 μm。
探針的理想形狀是頂端為球形的圓錐體。

頂端半徑: r tip ＝ 2 μm、5 μm、10 μm
圓錐角: 60°、90°

* 除非有特別規定，一般量測儀器理想的圓錐角為60°。

接觸式表面粗糙度、形狀量測儀器

接觸式表面粗糙度量測計十分可靠，因為他們在量測過程中能夠直接接觸到樣本。
但是直接接觸同樣會產生上述的缺點。
以下針對須特別注意的項目詳細說明。

探針的磨損

探針必須經過拋光，因為它會隨著時間而磨損。磨損的方式有所不同，根據材料和量測目標物件的形狀，探針會被磨平或磨圓。不同的探針形狀就會產生不同的波形輪廓。
檢測探針磨損的一種方法就是使用市售的磨損檢驗測試件。藉由比較磨損前後的測試件資料形狀（凹槽寬度等），可以檢測磨損情況。

量測壓力造成樣本的印記

正如前文所述，探針由藍寶石或鑽石製成，但是使用硬質材料的部分會劃傷物件表面。尤其是重複進行平行調整時，探針很容易在快速進料的過程中劃傷樣本。

小於探針頂端半徑的凹槽無法量測

探針的頂端是球形的。如果凹槽寬度（刮傷等）小於探針頂端的半徑，探針頂端就無法正確追蹤形狀。