表面粗糙度（面粗糙度）的術語

角頻譜（圖表）	用於判斷表面的哪個方向有紋路（如果是金屬，則稱為髮絲紋）的圖表。
自相關函數	用於評估表面粗糙度平面方向的週期性。
波谷線（水線、凹線） (course line)	表示分割相鄰波峰的曲線。
波谷 (dale)	最大的下坡路徑連接到波谷底點，表示波谷底點四周的範圍。
定義範圍（definition area）	評估範圍中，用參數定義的部分。
評估範圍（evaluation area）	檢測表面中，評估目標的範圍。
F- 操作（F-operation）	從基礎表面去除形狀，相當於傾斜補正的去除形狀濾波器。
高度（height）	在檢測表面上的各點和參考表面間的距離，低於參考面的點則為負值。
波峰 (hill)	最大的上坡路徑連接到波峰頂點，表示波峰頂點四周的範圍。
L- 濾波器（L-filter）	可去除大而明顯成分的濾波器（高通濾波器）。為了去除起伏等等，只提取粗糙度成分的濾波器。相當於JIS B 0633-2001 截斷值λc 的濾波器。
波峰範圍高度 (local peak height)	波峰頂點與該頂點和稜線相連的鞍點中高度最接近的點之高度差。
波谷範圍深度 (local pit height)	波谷底點與該波谷線和波谷線相連的鞍點中高度最接近的點之高度差。
波峰頂點 (peak)	表示表面當中高度比四周鄰接點高的點。
波谷底點 (pit)	表示表面當中高度比四周鄰接點低的點。
基礎表面（primary surface）	對原始表面應用S- 濾波器後，所得之表面。
原始表面	以量測裝置量測出XY 平面方向的檢測資料所構成的表面。以處理高度資料為主。
參考表面（reference surface）	對應檢測表面的參考表面，在ISO 25178 表面性狀功能中用來表示評估範圍平均高度的平面。
稜線（分水線、凸線） (ridge line)	表示分割相鄰波谷的曲線。
S- 濾波器（S-filter）	可去除微小成分的濾波器（低通濾波器）。相當於JIS B 0601-2001 截斷值λs 的濾波器。使用探針式表面粗糙度量測計時，會去除依附在頂端形狀上的干擾。
S-F 表面（S-F sur face）	對基礎表面應用F- 操作後，所得之表面。
S-L 表面（S-L sur face）	再對S-F 表面應用L- 濾波器後，所得之表面。
鞍點 (saddle point)	表示稜線和波谷線的交點。
檢測表面（scale-limited surface）	指S-F 表面或S-L 表面。相當於線粗糙度檢測中的粗糙度輪廓、起伏輪廓。
表面濾波器（surface filter）	對表面應用濾波器處理。

區塊分割 (segmentation)

分水嶺演算法 (watershed algorithm)

為了分割計算特徵參數使用的範圍，使用分水嶺演算法。
對著表面降水，水會沿著表面的形狀到達波谷底點。之後如果繼續降水，不同波谷底點的積水區就會出現水面相連的點。這些點的集合就是分割波谷範圍的稜線。 顛倒過來，也可用來分割波峰範圍。

Wolf 剪枝 (Wolf pruning)

只要是比附近範圍高或低的點，就可以算是波峰頂點或波谷底點，因此即使是細微的凹凸表面，也會存在大量的波峰頂點、波谷底點。如果對這種表面運用分水嶺演算法，就會分割出非常細的波峰範圍與波谷範圍。
為了避免此種過度分割 (over-segmentation) ，針對波峰範圍高度或波谷範圍深度，去除一定閾值以下的範圍，這種處理就是Wolf 剪枝(Wolf pruning)。
閾值是根據相對於表面最大高度（Sz）的比率來設定，預設值為5%。

封閉範圍 (closed area), 開放範圍 (open area)

在成形的高度c 中，未鄰接定義範圍邊界的部分稱為封閉範圍，鄰接的部分則稱為開放範圍。 高度c 根據負荷面積率來設定，預設值為50%。