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評估流程與濾波器處理


量測流程

根據以下步驟,求出ISO 25178 表面性狀(表面粗糙度量測)的各項參數。

  1. 對原始表面進行表面濾波器(S- 濾波器)處理,求出基礎表面。
  2. 根據欲量測的內容再進行表面濾波器(F- 操作與L- 濾波器)處理,求出檢測表面。
  3. 指定檢測表面上的評估範圍。
  4. 求出對應於檢測表面的參考表面,演算各項參數。


濾波器處理

關於濾波器處理的規格,目前ISO 仍持續檢討中。在此介紹正在研究作為S- 濾波器、L- 濾波器處理方法的濾波器處理。

高斯濾波器

高斯濾波器,是一種利用高斯函數去除干擾的平滑處理濾波器。表面粗糙度量測採用的是將JIS B 0632:2001(ISO 11562:1996)及ISO 16610-21:2011 規定的高斯濾波器,以面狀擴大後的結果。

樣條濾波器

樣條濾波器,是一種利用樣條函數,對相鄰有效點之間的各區間進行插補處理,以求出平滑曲線的濾波器。表面粗糙度量測採用的是將ISO/TS 16610-22:2006 規定的樣條濾波器,以面狀擴大後的結果。


S-濾波器、L- 濾波器的設定

以S- 濾波器指定截斷波長

設定XY 平面(水平)上量測解析度3 倍以上的數值。若設定的數值效果不彰時,請擴大設定值,直到去除「檢測表面」的干擾為止。如果事前已進行其他濾波器處理時,可能不會使用此功能。

以L- 濾波器指定截斷波長

很難用同一種鏡頭倍率或探針頂端半徑等進行量測,必須根據原始表面進行調整。設定想去除的起伏形狀之XY 方向長度(週期長度)的5 倍。

例:

輪廓1 水平距離
類別1 14.678 μm

上圖情形下,截斷值為0.1 mm。

14.678 × 5 = 73.39 ≈ 0.1 mm



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